直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究

• 樊双莉, 
• 陈俊芳, 
• 吴先球, 
• 赵文锋, 
• 孙辉, 
• 符斯列, 
• 向鹏飞, 
• 蒙高庆