离子源辅助法制备T iN及等离子体特性研究

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张茂平, 陈俊芳, 蒙高庆, 向鹏飞, 史磊, 赖秀琼. 离子源辅助法制备T iN及等离子体特性研究[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2006, (3): 59.

引用本文:

张茂平, 陈俊芳, 蒙高庆, 向鹏飞, 史磊, 赖秀琼. 离子源辅助法制备T iN及等离子体特性研究[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2006, (3): 59.

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