0. 1 mULSI工艺中多层金属布线的热分析

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何旭曙, 黄河, 裴颂伟, 鲍苏苏

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何旭曙, 黄河, 裴颂伟, 鲍苏苏. 0. 1 mULSI工艺中多层金属布线的热分析[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2006, (3): 54.

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何旭曙, 黄河, 裴颂伟, 鲍苏苏. 0. 1 mULSI工艺中多层金属布线的热分析[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2006, (3): 54.

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出版历程
- 刊出日期: 2006-08-24

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