自动椭圆偏振测厚仪中的软件设计

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傅强, 黄佐华, 宁惠军, 杨冠玲, 何振江, 周麓声飞

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傅强, 黄佐华, 宁惠军, 杨冠玲, 何振江, 周麓声飞. 自动椭圆偏振测厚仪中的软件设计[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 1998, (4): 1.

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傅强, 黄佐华, 宁惠军, 杨冠玲, 何振江, 周麓声飞. 自动椭圆偏振测厚仪中的软件设计[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 1998, (4): 1.

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