大面积光刻胶线棒涂布工艺研究

韦必明; 金名亮; 吴昊; 窦盈莹; 周国富; 水玲玲*

doi:10.6054/j.jscnun.2014.12.015

韦必明, 金名亮, 吴昊, 窦盈莹, 周国富, 水玲玲*. 大面积光刻胶线棒涂布工艺研究[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015

引用本文:

韦必明, 金名亮, 吴昊, 窦盈莹, 周国富, 水玲玲*. 大面积光刻胶线棒涂布工艺研究[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015

Wei Biming, Jin Mingliang, Wu Hao, Dou Yingying, Zhou Guofu, Shui Lingling*. Study on Bar Coating Process for LargeArea Photoresist Coating[J]. Journal of South China Normal University (Natural Science Edition), 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015

Citation:

Wei Biming, Jin Mingliang, Wu Hao, Dou Yingying, Zhou Guofu, Shui Lingling*. Study on Bar Coating Process for LargeArea Photoresist Coating[J]. Journal of South China Normal University (Natural Science Edition), 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015

大面积光刻胶线棒涂布工艺研究

Study on Bar Coating Process for LargeArea Photoresist Coating

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