樊双莉, 陈俊芳, 吴先球, 赵文锋, 孙辉, 符斯列, 向鹏飞, 蒙高庆. 直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2004, (4): 65.
引用本文: 樊双莉, 陈俊芳, 吴先球, 赵文锋, 孙辉, 符斯列, 向鹏飞, 蒙高庆. 直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 2004, (4): 65.
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直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究

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