王浩, 范广涵, 廖长俊. MOCVD 系统生长过程的优化精确控制[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2004, (2): 67.
引用本文: 王浩, 范广涵, 廖长俊. MOCVD 系统生长过程的优化精确控制[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2004, (2): 67.

MOCVD 系统生长过程的优化精确控制

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