应用DLTS技术研究磷处理对Si_SiO_2界面态的影响[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 1984, (2): 1.
引用本文: 应用DLTS技术研究磷处理对Si_SiO_2界面态的影响[J]. 华南师范大学学报（自然科学版）, 1984, (2): 1.
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应用DLTS技术研究磷处理对Si_SiO_2界面态的影响

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