留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

透射式透明薄膜厚度的在线测量

陈方涵 赵光宇 蒋仕龙

陈方涵, 赵光宇, 蒋仕龙. 透射式透明薄膜厚度的在线测量[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2019, 51(3): 12-17. doi: 10.6054/j.jscnun.2019039
引用本文: 陈方涵, 赵光宇, 蒋仕龙. 透射式透明薄膜厚度的在线测量[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2019, 51(3): 12-17. doi: 10.6054/j.jscnun.2019039
CHEN Fanghan, ZHAO Guangyu, JIANG Shilong. Transmissive Online Thickness Measurement of Transparent Thin Film[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2019, 51(3): 12-17. doi: 10.6054/j.jscnun.2019039
Citation: CHEN Fanghan, ZHAO Guangyu, JIANG Shilong. Transmissive Online Thickness Measurement of Transparent Thin Film[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2019, 51(3): 12-17. doi: 10.6054/j.jscnun.2019039

透射式透明薄膜厚度的在线测量

doi: 10.6054/j.jscnun.2019039
基金项目: 

国家自然科学基金;深圳市未来产业专项资金

详细信息
    通讯作者:

    蒋仕龙

Transmissive Online Thickness Measurement of Transparent Thin Film

  • 摘要: 为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,论文提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集的放置薄膜前后的图像灰度值作为入射/出射能量计算其光密度值,再通过比尔-朗伯定律建立光密度值与厚度之间的关系.为减小测量误差,采用标准密度值标定板对系统进行标定,对计算的理论光密度值进行偏移校正.该系统结构简单,单次测量面积可达100 mm * 75 mm;以四氟薄膜为例进行验证,其测量的平均误差为5.7%,标准偏差为6.66%,为薄膜厚度全场在线检测提供了新的可行性.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  1469
  • HTML全文浏览量:  193
  • PDF下载量:  12
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2018-03-07
  • 修回日期:  2018-03-22
  • 刊出日期:  2019-06-25

目录

    /

    返回文章
    返回