留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

电子回旋共振等离子体静电探针诊断技术研究

马俊辉 陈俊芳 符斯列 李东珂 李烨

马俊辉, 陈俊芳, 符斯列, 李东珂, 李烨. 电子回旋共振等离子体静电探针诊断技术研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2015, 47(3): 29-0. doi: 10.6054/j.jscnun.2015.03.039
引用本文: 马俊辉, 陈俊芳, 符斯列, 李东珂, 李烨. 电子回旋共振等离子体静电探针诊断技术研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2015, 47(3): 29-0. doi: 10.6054/j.jscnun.2015.03.039
Research of Electron Cyclotron Resonance Plasma Langmuir Probe Diagnostic Techniques[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2015, 47(3): 29-0. doi: 10.6054/j.jscnun.2015.03.039
Citation: Research of Electron Cyclotron Resonance Plasma Langmuir Probe Diagnostic Techniques[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2015, 47(3): 29-0. doi: 10.6054/j.jscnun.2015.03.039

电子回旋共振等离子体静电探针诊断技术研究

doi: 10.6054/j.jscnun.2015.03.039
基金项目: 

广东省自然科学基金项目;广东省自然科学基金;国家自然科学基金

详细信息
    通讯作者:

    陈俊芳

  • 中图分类号: O434.14

Research of Electron Cyclotron Resonance Plasma Langmuir Probe Diagnostic Techniques

  • 摘要: 采用Langmuir静电单探针和双探针诊断技术对微波电子回旋共振(ECR)装置产生的低温低气压氮气等离子体进行诊断.测量结果表明由饱和离子电流计算得到的电子密度约为21010/cm3,而由饱和电子电流计算得到的电子密度仅在11010/cm3左右;由单探针测量的轴向电子温度最高可达7eV,而双探针的测量值最大仅为4.5eV.引入Langmuir受限轨道理论对这些差异现象进行分析,提出电流分离的思想,将电子电流与离子电流分离,证明了受限轨道理论在ECR等离子体中的适用性.解决了使用单探针测量电子温度时直线部分不明显的问题.
  • [1].参考文献
    [2] 叶超, 宁兆元, 等.低气压低温等离子体诊断原理与技术[M]. 北京:科学出版社, 2010. 72—76
    [3] S.B. Singh, N. Chand, D.S. Patil. Langmuir probe diagnostics of microwave electron cyclotron resonance (ECR) plasma[J]. Vacuum, 2009, 83:372-377
    [4] R.Kar, S.A. Barve, S.B. Singh, D.N. Barve, N. Chand, D.S. Patil. Diagnostics of microwave ECR generated plasma: Effect of contaminated reference electrode [J]. Vacuum, 2010, 85:151-155
    [5] 赵化侨.等离子体化学与工艺[M]. 合肥:中国科学技术大学出版社, 1993. 27—32
    [6] 沈武林, 马志斌, 谭必松.ECR等离子体的磁电加热研究[J].物理学报, 2011. 10 105204
    [7]Shen W L, Ma Z B, Tan B S Magnetoelectric heating in the ECR plasma[J].Acta Phys. Sin, 2011. 10 105204
    [8] 符斯列, 陈俊芳, 吴先球, 赵文峰, 樊双莉, 马涛.等离子体参数诊断及其特性研究[J].华南师范大学学报(自然科学版)04. 02:77-81
    [9]FU Si - lie, CHEN J un - fang, WU Xian - qiu, ZHAO Wen - feng, FAN Shuang - li, MA Tao.Study on Diagnosis and Prepreties Plasma Parameters [J]. Journal of South China Normal University (natural science edition), 04. 02:77-81
    [10]. 力伯曼 M A, 里登伯格 A J 著 (王广阳译) 2007 等离子体放电原理与材料处理[M](北京:科学出版社) 144页
    [11].Lieberman M A, Lichtenberg A J(translated by Pu Y K) 2007 Principles Plasma Discharges and Materials Processing[M] (Bejing:Science Press)p144 (in Chinese)
    [12]FU Silie, CHEN Junfang, WU Xianqiu.Spatial Distribution of ECR Plasma Density in ECR-PECVD Reaction Chamber[J].Plasma Science & Technology, 2006, 08(03):300-302
    [13]Li Wei, Chen Jun-Fang, Wang Teng.Prediction of the plasma distribution using an artificial neural network[J].Chinese Physics B, 2009, 18(06):2441-2444

    [1].参考文献
    [2] 叶超, 宁兆元, 等.低气压低温等离子体诊断原理与技术[M]. 北京:科学出版社, 2010. 72—76
    [3] S.B. Singh, N. Chand, D.S. Patil. Langmuir probe diagnostics of microwave electron cyclotron resonance (ECR) plasma[J]. Vacuum, 2009, 83:372-377
    [4] R.Kar, S.A. Barve, S.B. Singh, D.N. Barve, N. Chand, D.S. Patil. Diagnostics of microwave ECR generated plasma: Effect of contaminated reference electrode [J]. Vacuum, 2010, 85:151-155
    [5] 赵化侨.等离子体化学与工艺[M]. 合肥:中国科学技术大学出版社, 1993. 27—32
    [6] 沈武林, 马志斌, 谭必松.ECR等离子体的磁电加热研究[J].物理学报, 2011. 10 105204
    [7]Shen W L, Ma Z B, Tan B S Magnetoelectric heating in the ECR plasma[J].Acta Phys. Sin, 2011. 10 105204
    [8] 符斯列, 陈俊芳, 吴先球, 赵文峰, 樊双莉, 马涛.等离子体参数诊断及其特性研究[J].华南师范大学学报(自然科学版)04. 02:77-81
    [9]FU Si - lie, CHEN J un - fang, WU Xian - qiu, ZHAO Wen - feng, FAN Shuang - li, MA Tao.Study on Diagnosis and Prepreties Plasma Parameters [J]. Journal of South China Normal University (natural science edition), 04. 02:77-81
    [10]. 力伯曼 M A, 里登伯格 A J 著 (王广阳译) 2007 等离子体放电原理与材料处理[M](北京:科学出版社) 144页
    [11].Lieberman M A, Lichtenberg A J(translated by Pu Y K) 2007 Principles Plasma Discharges and Materials Processing[M] (Bejing:Science Press)p144 (in Chinese)
    [12]FU Silie, CHEN Junfang, WU Xianqiu.Spatial Distribution of ECR Plasma Density in ECR-PECVD Reaction Chamber[J].Plasma Science & Technology, 2006, 08(03):300-302
    [13]Li Wei, Chen Jun-Fang, Wang Teng.Prediction of the plasma distribution using an artificial neural network[J].Chinese Physics B, 2009, 18(06):2441-2444
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  1193
  • HTML全文浏览量:  63
  • PDF下载量:  211
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2014-10-17
  • 修回日期:  2014-11-19
  • 刊出日期:  2015-05-25

目录

    /

    返回文章
    返回