留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

大面积光刻胶线棒涂布工艺研究

韦必明 金名亮 吴昊 窦盈莹 周国富 水玲玲*

韦必明, 金名亮, 吴昊, 窦盈莹, 周国富, 水玲玲*. 大面积光刻胶线棒涂布工艺研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015
引用本文: 韦必明, 金名亮, 吴昊, 窦盈莹, 周国富, 水玲玲*. 大面积光刻胶线棒涂布工艺研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015
Wei Biming, Jin Mingliang, Wu Hao, Dou Yingying, Zhou Guofu, Shui Lingling*. Study on Bar Coating Process for LargeArea Photoresist Coating[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015
Citation: Wei Biming, Jin Mingliang, Wu Hao, Dou Yingying, Zhou Guofu, Shui Lingling*. Study on Bar Coating Process for LargeArea Photoresist Coating[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2015, 47(2): 84-89. doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015

大面积光刻胶线棒涂布工艺研究

doi: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015

Study on Bar Coating Process for LargeArea Photoresist Coating

计量
  • 文章访问数:  1099
  • HTML全文浏览量:  79
  • PDF下载量:  246
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2014-11-15
  • 刊出日期:  2015-03-25

目录

    /

    返回文章
    返回