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电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布

蒙高庆 陈俊芳 向鹏飞 熊予莹 吴先球 符斯列 张茂平

蒙高庆, 陈俊芳, 向鹏飞, 熊予莹, 吴先球, 符斯列, 张茂平. 电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2005, (2): 61.
引用本文: 蒙高庆, 陈俊芳, 向鹏飞, 熊予莹, 吴先球, 符斯列, 张茂平. 电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2005, (2): 61.

电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布

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  • 刊出日期:  2005-05-25

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