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等离子体辅助电子枪蒸发制备A lN薄膜及等离子体参数诊断

向鹏飞 陈俊芳 蒙高庆 胡社军 吴先球 符斯列 李赟

向鹏飞, 陈俊芳, 蒙高庆, 胡社军, 吴先球, 符斯列, 李赟. 等离子体辅助电子枪蒸发制备A lN薄膜及等离子体参数诊断[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2006, (2): 61.
引用本文: 向鹏飞, 陈俊芳, 蒙高庆, 胡社军, 吴先球, 符斯列, 李赟. 等离子体辅助电子枪蒸发制备A lN薄膜及等离子体参数诊断[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2006, (2): 61.

等离子体辅助电子枪蒸发制备A lN薄膜及等离子体参数诊断

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  • 刊出日期:  2006-05-25

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