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离子源辅助法制备T iN及等离子体特性研究

张茂平 陈俊芳 蒙高庆 向鹏飞 史磊 赖秀琼

张茂平, 陈俊芳, 蒙高庆, 向鹏飞, 史磊, 赖秀琼. 离子源辅助法制备T iN及等离子体特性研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2006, (3): 59.
引用本文: 张茂平, 陈俊芳, 蒙高庆, 向鹏飞, 史磊, 赖秀琼. 离子源辅助法制备T iN及等离子体特性研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2006, (3): 59.

离子源辅助法制备T iN及等离子体特性研究

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  • 刊出日期:  2006-08-25

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