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多晶硅材料消解方法的探究

杨捷 叶启亮 张虹 黄一鸣 温涛 郭长娟

杨捷, 叶启亮, 张虹, 黄一鸣, 温涛, 郭长娟. 多晶硅材料消解方法的探究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2016, 48(3): 97-101.
引用本文: 杨捷, 叶启亮, 张虹, 黄一鸣, 温涛, 郭长娟. 多晶硅材料消解方法的探究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2016, 48(3): 97-101.
YANG Jie, YE Qiliang, ZHANG Hong, HUANG Yiming, WEN Tao, GUO Changjuan*. Digestion Method of Polysilicon[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2016, 48(3): 97-101.
Citation: YANG Jie, YE Qiliang, ZHANG Hong, HUANG Yiming, WEN Tao, GUO Changjuan*. Digestion Method of Polysilicon[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2016, 48(3): 97-101.

多晶硅材料消解方法的探究

基金项目: 

广东省科技计划项目(2013B060100003);广州市珠江科技新星项目(2014J2200029)

详细信息
    作者简介:

    郭长娟,副教授,Email:guocj@scnu.edu.cn.

    通讯作者:

    郭长娟,副教授,Email:guocj@scnu.edu.cn.

  • 中图分类号: TH843

Digestion Method of Polysilicon

  • 摘要: 探究了多晶硅样品的酸溶消解法.优化了氢氟酸、硝酸建立的酸解体系,并针对多晶硅粉末状样品给出了最优消解V(H2O)〖KG-1.5mm〗∶〖KG-1mm〗V(HF)〖KG-1.5mm〗∶〖KG-1mm〗V(HNO3)约为20〖KG-0.7mm〗∶〖KG-1mm〗28〖KG-1mm〗∶〖KG-1mm〗10.比较了室温密闭消解、超声辅助消解、水浴加热辅助消解和微波消解对消解效果的影响,结果表明,对于多晶硅粉末样品室温密闭消解1 h为最简便有效的消解方式.
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-08-29
  • 刊出日期:  2016-05-25

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