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微波电子回旋共振等离子体放电特性研究

张洪宾 陈俊芳 符斯列 郭超峰 李炜 黄孟祥

张洪宾, 陈俊芳, 符斯列, 郭超峰, 李炜, 黄孟祥. 微波电子回旋共振等离子体放电特性研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 1(2): 48-52 .
引用本文: 张洪宾, 陈俊芳, 符斯列, 郭超峰, 李炜, 黄孟祥. 微波电子回旋共振等离子体放电特性研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 1(2): 48-52 .
junfang chen FU Si-Lie, . STUDY ON THE CHARACTERISTICS OF MICROWAVE ECR PLASMA DISCHARGE[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2009, 1(2): 48-52 .
Citation: junfang chen FU Si-Lie, . STUDY ON THE CHARACTERISTICS OF MICROWAVE ECR PLASMA DISCHARGE[J]. Journal of South China normal University (Natural Science Edition), 2009, 1(2): 48-52 .

微波电子回旋共振等离子体放电特性研究

详细信息
    通讯作者:

    陈俊芳

  • 中图分类号: 

    TL65

STUDY ON THE CHARACTERISTICS OF MICROWAVE ECR PLASMA DISCHARGE

  • 摘要: 为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等离子体空间分布的影响,结果表明: ECR氮等离子体中主要发生的是碰撞激发、碰撞电离,碰撞离解等微观过程,且等离子体的主要成分是激发态的 ;受磁场梯度影响的反应室上游区,等离子体分布不均匀,受等离子体密度梯度影响的下游区,等离子体则具有良好的均匀性;对于特定的微波功率(PW=400W),放电气压存在一个最佳值(p=0.07Pa).
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-10-10
  • 修回日期:  2008-11-20
  • 刊出日期:  2009-05-25

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